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籽晶運動裝置

產品簡介：籽晶運動裝置是硅單晶生長爐的重要組成部分，其功能是實現籽晶軟軸的旋轉和移動，要求具有很高的運行精度、平穩性、安全性。該裝置可配置與各種大型硅單晶爐，也可按用戶要求設計、制作。

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坩堝運動裝置

坩堝運動裝置是硅單晶生長爐的重要組成部分，其功能是實現坩堝的旋轉和隨動，要求具有很高的運行精度、平穩性、安全性。該裝置可配置與各種大型硅單晶爐，也可按用戶要求設計、制作。

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LJ-PVT70型碳化硅晶體生長爐

利用高溫升華法生長三代半導體—碳化硅晶體材料，由工控機實現速度、溫度、爐內壓力等全自動控制，配置新型DSP+IGBT結構的高頻感應加熱電源，在可控的局部壓力狀態下運行。

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