LJ-XJ80型坩堝下降法單晶爐
一、LJ-XJ80型單晶爐主要技術(shù)指標:
商品簡介:LJ-XJ80型單晶爐使用直流電阻加熱方式,采用坩堝下降法工藝生長氟化物單晶材料,全程運行在高真空狀態(tài)下,可手動、自動功率控制、溫度控制,傳動機構(gòu)承載大、運行精度高。
主要技術(shù)指標
1.電阻加熱電源: 100KVA
2.冷爐極限真空度: 3×10-3Pa
3.爐體尺寸: ¢800x1500mm
4. 爐體升降高度: 1600mm
5.坩堝桿下降慢速: 0.1~10mm/h
6.坩堝桿升降快速: 電動+手動
7.坩堝桿爐內(nèi)行程: ~450mm
8.電極支承中心距: 400mm
9.冷卻水壓: 0.15~0.3MPa 5T/h
10. 主機外型尺寸: 2000×1800×4300